東京精密表面粗糙度·輪廓形狀綜合測量機(jī)

高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅?/p>

●應(yīng)用東京精密的要素技術(shù)之一的光纖激光干涉測長系統(tǒng)，開發(fā)出分辨率0.31nm的高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅鞑⒋钶d在產(chǎn)品上。

●動態(tài)量程與分辨率之比高達(dá)42,000,000 ：1，一次跟蹤即可評價大范圍的輪廓形狀及其隱藏在形狀下面的微細(xì)表面形狀，是一款劃時代的產(chǎn)品。

東京精密表面粗糙度·輪廓形狀綜合測量機(jī)

在驅(qū)動部搭載線性馬達(dá)

●憑借線性馬達(dá)驅(qū)動，實現(xiàn)了高精度·高速移動。

●電子低振動化穩(wěn)定，可以實現(xiàn)高倍率測定。

只需一次測量即可進(jìn)行粗糙度和輪廓的分析

●可在保持高精度的同時提高測量效率。大量程

●橫向200mm，縱向13mm，測量范圍大。

●可±45°自動控制驅(qū)動部傾斜（SURFCOM CREST-T型號）

規(guī)格

項　目 SURFCOM CREST 測量范圍 Z軸（縱向） 13 mm/50 mm 測臂、 26 mm/100 mm 測臂 X 軸（橫向） 200 mm 行程 立柱 500 mm 精度 Z 軸指示精度（縱向） ±0.2+IHI/1000 μm （H ：測量高度 mm）測量分辨率 0.31 nm/50 mm 測臂 X 軸指示精度（橫向） ±0.2+L/1000 μm （L ：測量長度 mm）測量分辨率 0.54 nm 直線度精度※1 0.05+3 L/10000 μm （L ：測量長度 mm）系統(tǒng)精度※1 系統(tǒng)噪音※2 Ra ≦ 2 nm / 0.4 mm Rz ≦ 10 nm /0.4 mm 球頭形狀誤差※3 Pt ≦ 0.1 μm （φ30 mm以下）半徑測量的大允許誤差※4 ≦± 1.0 μm （φ30 mm以下）長度測量的大允許誤差※5 ≦± (1+L/150) μm （L ：測量長度 mm）角度測量的大允許誤差※6 ≦± 0.5 min （±45度傾斜）感應(yīng)方式 Z 軸（縱向） 高穩(wěn)定倍光路型激光干涉測長傳感器 X 軸（橫向） 衍射光柵尺速度立柱上下速度（Z 軸） ～ 200 mm/s 驅(qū)動部　測量速度（X 軸） 0.03 mm/s ～ 3 mm/s（粗糙度測量時）、0.03 mm/s ～ 20 mm/s（ 輪廓測量時）驅(qū)動部　移動速度（X 軸） 0.02 mm/s ～ 60 mm/s 驅(qū)動部傾斜 ±45° （T型號）傳感器測針 交換式測量力 0.75 mN 測針半徑 2 μmR 標(biāo)準(zhǔn)配件（ 50 mm 測臂）測針材質(zhì) 金剛石功能 收縮功能參數(shù)電源 電壓、頻率 單相AC100 ～ 240 V ±10 %、 50/60 Hz 氣源 供給壓力0.45 ～ 0.7MPa、使用壓力 0.4 MPa、消耗量8 L/mm（大）外形尺寸（W x D x H） 1405 mm×1050 mm×1851 mm 質(zhì)量 700 kg